大尺寸晶圆检测显微镜

简介 ：

蔡司 Axio Imager Vario

用于检测大尺寸样品的正置式显微镜

检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求

从尺寸*小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的*大样品高度为254 mm，*大横向样品空间为300 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良*的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

洁净室

半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DIN EN ISO 14644-1标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过此标准认证，并满足5级洁净室的应用要求。ISO 5级洁净室相当于原先标准FED STD 209E（1992）的100级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。

优势

ü  具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的*大横向样品空间300 mm x 300 mm和*大样品高度254 mm的优势。

ü  Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。

ü  借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。

ü  将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品

ü  Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。

硬件自动对焦

具有硬件自动对焦功能的Axio Imager Vario能够在高达12000 µm的焦点捕获范围内精准快速地聚焦反射样品。聚焦系统能够保证聚焦精度达到所使用物镜景深的0.3倍。自动聚集功能适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。